13.56MHz自動(dòng)匹配器
概述：匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會(huì)逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的
產(chǎn)品性能
匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會(huì)逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的響應(yīng)負(fù)載特性變化。
應(yīng)用對(duì)象
該自動(dòng)匹配器主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、ICP、光學(xué)鍍膜、等離子清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱及PECVD等系統(tǒng)。
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